ESA静电吸附
作者：admin 点击：
次 发布时间：2024-01-05
ESA静电吸附
原来的0.3μm降低到现在的0.1μm，但如果吸附的灰尘粒子的粒径大于线条宽度时，很容易使产品报废。
有时候客户会问，我们生产晶片的整道工序静电防护做的很好，该接地的都接了，要用的防静电设备也用了，而且净化等级做的也很高，为什么放置一段时间后还会吸灰呢？
那是因为生产加工晶片的机台或工作车间都装有FFU高效过滤器，当气流与产品进行摩擦后就会产生静电，静电累积到一定量的时候就会吸附灰尘。
所以我们建议在高效过滤器下端装不带气源的静电消除器来保证整个空间的动态平衡。
那是因为生产加工晶片的机台或工作车间都装有FFU高效过滤器，当气流与产品进行摩擦后就会产生静电，静电累积到一定量的时候就会吸附灰尘。
所以我们建议在高效过滤器下端装不带气源的静电消除器来保证整个空间的动态平衡。
